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电荷泵(charge pumping)手动测试操作流程

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深圳易商仪器有限公司(ESSUN) 文件名称:文件管理控制程序 文件编码: 电荷泵(版本号:A.1 保密等级:一般受控 页码:第 1 页共 12页

深圳易商仪器有限公司

charge pumping)手动测试操作流程

深圳易商仪器有限公司(ESSUN) 文件编码: 版本号:A.1 文件名称:文件管理控制程序 保密等级:一般受控 页码:第 2 页共 12页 文件制订履历表 序号 版本 1 A.1 修订条款号 制(修)订 ESSUN 审核 会审 核准 生效日期

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1、目的 ................................................................................................................................................... 4 2、适用范围 ........................................................................................................................................... 4 3、职责 ................................................................................................................................................... 4 4、 定义缩写 ......................................................................................................................................... 4 5、程序及说明 ....................................................................................................................................... 5

5.1 5.2 5.3

系统搭建 .................................................................................................................... 5 设置33220A测试条件 ............................................................................................ 6 Charge pumping程序测试 ....................................................................................... 6

6、流程图 ............................................................................................................................................. 12 7、 相关文件 ....................................................................................................................................... 12 8、记录表单 ......................................................................................................................................... 12

深圳易商仪器有限公司(ESSUN) 文件编码: 版本号:A.1 文件名称:文件管理控制程序 保密等级:一般受控 页码:第 4 页共 12页 1、目的

由于很多客户都有Agilent 4156C和Agilent 33220A,本文档详细描述了使用在片级别手动完成电荷泵(charge pumping)测试的流程,方便了研发人员顺利进行器件界面态的研究。

2、适用范围

本程序适用于研发人员对于可靠性测试中charge pumping的规范操作。

3、职责

可靠性工程师负责执行可靠性相关测试。

4、 定义缩写

无。

深圳易商仪器有限公司(ESSUN) 文件编码: 版本号:A.1 文件名称:文件管理控制程序 保密等级:一般受控 页码:第 5 页共 12页 5、程序及说明

开始测试 输入调整扫描和计算的条件 扫描Charge pumping 曲线 否 是否存在CP电流峰 是 记录Icpmax,Nit值,保存曲线 测试结束

5.1 系统搭建

33220A Gate Poly Source Drain Agilent 4156C N+ P- sub N+

Charge pumping测试系统搭建示意图如上图所示,gate端接入Agilent 33220A任意波形发生器,source和drain短接,与sub一起连入Agilent 4156C。

深圳易商仪器有限公司(ESSUN) 文件编码: 版本号:A.1 文件名称:文件管理控制程序 保密等级:一般受控 页码:第 6 页共 12页 5.2 设置33220A测试条件

Step1:准备测试

将信号线连入33220A,打开33220A电源,选择pulse波形。

Step2:设置测试条件

按“freq/period”,将光标移至“freq”,设置测试频率;按“Ampl/Hilevel”将光标移至“Ampl”,输入脉冲电压幅度;按“offset/Lolevel”,将光标移至“Lolevel”,设置为0;按“Width/Dty Cyc”,将光标移至“Dty Cyc”,输入50%;按“Edge Time”,输入10ns。

Step3:确认输出波形

按“gragh”,查看设置参数是否有错。按“output”输出脉冲信号。

具体设置如下图:

设置测试条件 显示波形 电源开关 选择脉冲 信号线连接孔 输出波形 5.3 Charge pumping程序测试

Step1:选择测试程序

系统搭建完后,插入软盘,在4156面板上按“get”键,获取软盘上文件信息,按“file

深圳易商仪器有限公司(ESSUN) 文件编码: 版本号:A.1 文件名称:文件管理控制程序 保密等级:一般受控 页码:第 7 页共 12页 catalog”,将光标移至“Charge Pumping”,按“select”选择文件,按“execute”进行测试程序的读取,完毕后按“exit”退出。

选择测试文件 文件信息 读取文件 Step2:调整信号通道

退出 按“CHAN”键进入“channels”界面,调整信号连入通道:将光标移至VdVs,按channel assign,根据连线调整通道,调整完后按“exit channel assign”,按“next page”。

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调整信号通道

Step3:设置测试条件

进入“USER FUNCTION”界面,按提示输入测试信息,如f(频率)、A(面积)。

深圳易商仪器有限公司(ESSUN) 文件编码: 版本号:A.1 文件名称:文件管理控制程序 保密等级:一般受控 页码:第 9 页共 12页 测试计算公式信息

按“next page”进入“MEASURE”界面,输入Vsb扫描范围、var1’偏压值(通常对于NOMS为0.1V,PMOS为-0.1V)。

Vsb扫描范围 var1’偏压值

Step4:测试

按“graph/list”进入“graph”界面,按“single”键开始扫描。调整曲线显示范围:按“scaling”,按“auto scaling”调整曲线显示范围。

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Step5:记录和保存数据

测试完毕,记录“graph”界面中屏幕上方的MAXIcp和Dit值,如上图。

保存数据:按“graph/list”进入data界面,按“spread sheet”显示软盘文件信息,输入文件名,按“execute”保存数据。按“exit”退出软盘界面。

深圳易商仪器有限公司(ESSUN) 文件编码: 版本号:A.1 文件名称:文件管理控制程序 保密等级:一般受控 页码:第 11 页共 12页 输入文件名

深圳易商仪器有限公司(ESSUN) 文件编码: 版本号:A.1 文件名称:文件管理控制程序 保密等级:一般受控 页码:第 12 页共 12页 6、流程图

7、 相关文件

8、记录表单

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