电荷泵(charge pumping)手动测试操作流程

深圳易商仪器有限公司

charge pumping）手动测试操作流程

深圳易商仪器有限公司（ESSUN） 文件编码： 版本号：A.1 文件名称：文件管理控制程序 保密等级：一般受控 页码：第 2 页共 12页 文件制订履历表 序号 版本 1 A.1 修订条款号 制(修)订 ESSUN 审核 会审 核准 生效日期

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1、目的 ................................................................................................................................................... 4 2、适用范围 ........................................................................................................................................... 4 3、职责 ................................................................................................................................................... 4 4、 定义缩写 ......................................................................................................................................... 4 5、程序及说明 ....................................................................................................................................... 5

5.1 5.2 5.3

系统搭建 .................................................................................................................... 5 设置33220A测试条件 ............................................................................................ 6 Charge pumping程序测试 ....................................................................................... 6

6、流程图 ............................................................................................................................................. 12 7、 相关文件 ....................................................................................................................................... 12 8、记录表单 ......................................................................................................................................... 12

深圳易商仪器有限公司（ESSUN） 文件编码： 版本号：A.1 文件名称：文件管理控制程序 保密等级：一般受控 页码：第 4 页共 12页 1、目的

由于很多客户都有Agilent 4156C和Agilent 33220A，本文档详细描述了使用在片级别手动完成电荷泵（charge pumping）测试的流程，方便了研发人员顺利进行器件界面态的研究。

2、适用范围

本程序适用于研发人员对于可靠性测试中charge pumping的规范操作。

3、职责

可靠性工程师负责执行可靠性相关测试。

4、 定义缩写

无。

深圳易商仪器有限公司（ESSUN） 文件编码： 版本号：A.1 文件名称：文件管理控制程序 保密等级：一般受控 页码：第 5 页共 12页 5、程序及说明

开始测试 输入调整扫描和计算的条件 扫描Charge pumping 曲线 否 是否存在CP电流峰 是 记录Icpmax，Nit值，保存曲线 测试结束

5.1 系统搭建

33220A Gate Poly Source Drain Agilent 4156C N+ P- sub N+

Charge pumping测试系统搭建示意图如上图所示，gate端接入Agilent 33220A任意波形发生器，source和drain短接，与sub一起连入Agilent 4156C。

深圳易商仪器有限公司（ESSUN） 文件编码： 版本号：A.1 文件名称：文件管理控制程序 保密等级：一般受控 页码：第 6 页共 12页 5.2 设置33220A测试条件

Step1：准备测试

将信号线连入33220A，打开33220A电源，选择pulse波形。

Step2：设置测试条件

按“freq/period”，将光标移至“freq”，设置测试频率；按“Ampl/Hilevel”将光标移至“Ampl”，输入脉冲电压幅度；按“offset/Lolevel”，将光标移至“Lolevel”，设置为0；按“Width/Dty Cyc”，将光标移至“Dty Cyc”，输入50%；按“Edge Time”，输入10ns。

Step3：确认输出波形

按“gragh”，查看设置参数是否有错。按“output”输出脉冲信号。

具体设置如下图：

设置测试条件 显示波形 电源开关 选择脉冲 信号线连接孔 输出波形 5.3 Charge pumping程序测试

Step1：选择测试程序

系统搭建完后，插入软盘，在4156面板上按“get”键，获取软盘上文件信息，按“file

深圳易商仪器有限公司（ESSUN） 文件编码： 版本号：A.1 文件名称：文件管理控制程序 保密等级：一般受控 页码：第 7 页共 12页 catalog”，将光标移至“Charge Pumping”，按“select”选择文件，按“execute”进行测试程序的读取，完毕后按“exit”退出。

选择测试文件 文件信息 读取文件 Step2：调整信号通道

退出 按“CHAN”键进入“channels”界面，调整信号连入通道：将光标移至VdVs，按channel assign，根据连线调整通道，调整完后按“exit channel assign”，按“next page”。

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调整信号通道

Step3：设置测试条件

进入“USER FUNCTION”界面，按提示输入测试信息，如f（频率）、A（面积）。

深圳易商仪器有限公司（ESSUN） 文件编码： 版本号：A.1 文件名称：文件管理控制程序 保密等级：一般受控 页码：第 9 页共 12页 测试计算公式信息

按“next page”进入“MEASURE”界面，输入Vsb扫描范围、var1’偏压值（通常对于NOMS为0.1V，PMOS为-0.1V）。

Vsb扫描范围 var1’偏压值

Step4：测试

按“graph/list”进入“graph”界面，按“single”键开始扫描。调整曲线显示范围：按“scaling”，按“auto scaling”调整曲线显示范围。

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Step5：记录和保存数据

测试完毕，记录“graph”界面中屏幕上方的MAXIcp和Dit值，如上图。

保存数据：按“graph/list”进入data界面，按“spread sheet”显示软盘文件信息，输入文件名，按“execute”保存数据。按“exit”退出软盘界面。

深圳易商仪器有限公司（ESSUN） 文件编码： 版本号：A.1 文件名称：文件管理控制程序 保密等级：一般受控 页码：第 11 页共 12页 输入文件名

深圳易商仪器有限公司（ESSUN） 文件编码： 版本号：A.1 文件名称：文件管理控制程序 保密等级：一般受控 页码：第 12 页共 12页 6、流程图

无

7、 相关文件

无

8、记录表单

无