一种生产异质结太阳能电池的PECVD设备及工作方法

来源：尚车旅游网

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201410025655.4 （22）申请日 2014.01.21

（71）申请人上海理想万里晖薄膜设备有限公司;理想能源设备(上海)有限公司

地址 201203 上海市浦东新区居里路1号

（10）申请公布号 CN1047963A

（43）申请公布日 2015.07.22

（72）发明人胡宏逵;曹阳;徐思标;徐升东;陈金元（74）专利代理机构

代理人

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

一种生产异质结太阳能电池的PECVD设备及工作方法

（57）摘要

本发明涉及一种生产异质结太阳能电池的

PECVD设备，其主要部件进片腔、第一反应腔、传输腔、第二反应腔和出片腔共同沟成U型结构，解决了工业生产中大尺寸托盘在PECVD设备的传输腔内所产生的一系列传输问题，降低技术难度和生产成本。

法律状态

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态

法律状态公告日

2015-07-22 2015-08-19 2017-02-15 2017-04-26

公开

法律状态信息

公开

实质审查的生效授权

专利申请权、专利权的转移

法律状态

实质审查的生效授权

专利申请权、专利权的转移

权利要求说明书

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说明书

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