专利名称：真空炉测温装置专利类型：发明专利发明人：宋德鹏
申请号：CN201710465236.6申请日：20170619公开号：CN107091696A公开日：20170825
摘要：本发明公开了一种真空炉测温装置，应用于具有真空腔室的真空炉，所述真空炉测温装置包括：安装座；支架；直线驱动机构；波纹管，该波纹管的一端通过第一静密封结构固定安装在安装座上，另一端通过第二静密封结构固定安装在所述驱动端；以及热电偶，该热电偶的座端通过所述第二静密封结构装配在所述驱动端，该热电偶的本体则在过孔、安装孔以及中心孔所确定的方向上被直线驱动机构驱动而具有工作行程。依据本发明变动密封为静密封，从而提密封性能比较好。
申请人：济南力冠电子科技有限公司
地址：250119 山东省济南市天桥区桑梓店镇舜兴路66号济南新材料产业科技园1号楼1层西区
国籍：CN
代理机构：山东众成清泰律师事务所
代理人：丁修亭
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