专利名称：一种蒸镀装置专利类型：发明专利发明人：夏存军,邹新
申请号：CN201710318766.8申请日：20170508公开号：CN106939408A公开日：20170711
摘要：本发明提供一种蒸镀装置，包括主腔室以及至少一个通过阀门与主腔室相通的副腔室；其中，副腔室包括吸附台板、吸附管以及固定件，对待蒸镀基板进行蒸镀时，吸附管通过固定件以及吸附台板将待蒸镀基板吸附至吸附台板上，将待蒸镀基板与掩膜板进行对位，并通过固定件固定待蒸镀基板与掩膜板。本发明的蒸镀装置，通过设置一与主腔室相通的副腔室，并在副腔室中设置吸附台板、吸附管以及固定件，对待蒸镀基板进行蒸镀时，吸附管通过固定件以及吸附台板将待蒸镀基板吸附至吸附台板上，将待蒸镀基板与掩膜板进行对位，并通过固定件固定所述待蒸镀基板与所述掩膜板，从而提高待蒸镀基板与掩膜板的对位精度，避免混色现象，提高色质。
申请人：武汉华星光电技术有限公司
地址：430079 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
国籍：CN
代理机构：深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)
代理人：黄威
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