专利名称：一种利用热控元件进行ESC温度估算的虚拟计量方
法
专利类型：发明专利
发明人：张涛,约格·约瑟·扎尼诺维什,佛瑞德·埃格利申请号：CN201880007951.8申请日：20180118公开号：CN110199383A公开日：20190903
摘要：一种用于衬底处理系统中的衬底支撑件的温度控制器包括：存储第一模型的存储器，所述第一模型将布置在所述衬底支撑件中的多个第一热控制元件(TCE)的温度和所述衬底支撑件的第一温度响应相关联。所述第一温度响应对应于所述衬底支撑件的表面上的位置。温度估算模块计算所述第一TCE的电阻，基于所计算出的所述电阻确定所述第一TCE的所述温度，以及使用所存储的所述第一模型和所确定的所述第一TCE的所述温度估算所述衬底支撑件的实际温度响应。所述温度控制器被配置为基于所述衬底支撑件的所述实际温度响应来控制所述第一TCE。
申请人：朗姆研究公司
地址：美国加利福尼亚州
国籍：US
代理机构：上海胜康律师事务所
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