25MW太阳能电池工艺流程及国内外设备对照清单.doc

25MW太阳能电池工艺流程清单

序号 工序流程 所用设备 进口设备特点 1 制绒 制绒台 设备性能 参考价 国产设备特点 所用设备数总价（万元） 建议 量 参考 价 130万 1套 130 国产自动 60万 自动化程度高，300万 但对硅片外型尺寸要求高，也并不太适用 2 扩散（掺扩散炉 杂） 刻蚀（去刻蚀机 周边杂质） 无需进口 600万 3 无需进口 80万 1．全自动：对硅片外型尺寸要求高 国内部分厂家采用 2．手动：对硅片外型尺寸要求不高，价格便宜，但人为因素对产品质量有影响 设备性能稳定，100万 三台 已完全取代进口。 设备性能稳定比20万 四台 国外设备好，已完全取代进口。 300 国产 国产 80 4 酸洗（去酸洗台 磷硅玻璃） 自动化程度高， 但对硅片外型尺寸要求高，也并不太适用 5 镀膜 手动喷APCVD镀膜， 500万 镀台或 APCVD 或 PECVD 1400万 网印机 全自动：自动化程度高，但对硅片外型尺寸要求高，印刷稳定 半自动：人工装卸片，印刷稳定 设备简单无需进口 120万 40万 6 印背场 1．全自动：对硅片外型尺寸要求高 国内部分厂家采用 2．手动：对硅片外型尺寸要求不高，价格便宜。 APCVD镀膜国内没工业化生产设备。 手动喷膜：自动化程低，有色差（人为因素干扰），但价格便宜 全自动国内没有 半自动：人工装卸片，能满足要求 60万 15万 一套 60 国产自动 15万 一台 500 进口APCVD或PECVD 18万 二套 240 进口 7 烘干 烘干炉 50万 8 印背电极 网印机 全自动：自动化120万 程度高，但对硅 设备性能稳定比12万 国外设备好，已完全取代进口。 全自动国内没有 二台 24 国产 二套 进口 9 烘干 烘干炉 片外型尺寸要40万 求高，印刷稳定 半自动：人工装卸片，印刷稳定 设备简单无需50万 进口 全自动：自动化程度高，但对硅片外型尺寸要求高，印刷稳定 半自动：人工装卸片，印刷稳定 自动化程度高，性能稳定 120万 40万 半自动：人工装18万 卸片，能满足要求 设备性能稳定比国外设备好，已完全取代进口。 全自动国内没有 半自动：人工装卸片，能满足要求 12万 二台 240 24 国产 10 印栅极 网印机 18万 二套 240 进口 11 设备性能接近国45万 二套 90 外设备，已有部分厂家使用，较果也好，价格便宜。 12 分检 测试台 全自动：全自200万 全自动：国内没 一套 350 动：自动化程度 有 高，性能稳定， 但对硅片外型30 手动：性能不太18万 尺寸要求高 稳定，但价格便手动：性能稳定 宜。 烧结 烧结炉 200万 国产一套，进口一套 进口