真空镀膜

DM220型高真空镀膜台主要适用于电子显微镜制作样品时蒸镀金属膜、碳膜，也可用于清洗电子显微镜的光栏及其它金属膜，以及实验室和工厂用于一般蒸镀薄膜、金属镀层，也可对某些小零件作真空加热定型处理，配件附上，可作旋转倾斜、离子溅射、离子减薄、离子电镀和冰冻蚀刻等用途。

DM220型高真空镀膜台结构紧凑、小巧、美观大方、操作方便，可靠性好，其真空示意图见图所示。 2、 主要技术参数：

2.1 真空室容积 Ø 220*230mm 2.2 蒸发电流 50A 2.3 蒸发电压 20V

2.4 工作真空度 2.7*10^-3 Pa

2.5 主机功能 单相 50HZ 220V 2KVA 2.6 外形尺寸 0*300*940（长*宽*高）mm 2.7质量（净重） 小于70Kg 3、工作原理

该仪器是采用了淀积原理的技术，对试样进行表面镀膜，也可作真空定型，真空清洗。 4、 结构特点：

4.1 结构

该仪器分为的五大部件

a、 真空系统 b、 安全保护系统 c、 工作室 d、 控制系统 e、 供电系统

4.2 特点

4.21 仪器采用了机械、电气相结合，自锁、互锁相结合的保护系统。

4.22 仪器配有可升降的试样台，从50mm~75mm，满足不同距离的喷镀要求。 4.23 仪器突然停电后真空泵能自动进气以免真空泵返油，再恢复供电时，仪器不 会自动启动。

4.24 仪器配上定向蒸发套，可在小区域内进行喷镀，避免整个钟罩污染。 5、安装调试和安全使用 5.1、安装条件

5.1.1 工作室内环境应清洁，不应有可能引起电器及其它金属件表面腐蚀或引起金属间

导电尘埃和气体的存在。

5.1.2 环境温度 10℃~30℃ 5.1.3 相对湿度 不大于80%

5.1.4 冷却水进水温度不高于25℃

5.1.5 供电电源 单相220V 电压波动范围 198-231V 频率波动范围49-51HZ 容量不

小于2KVA

5.2、调试和安全使用

5.2.1 检查所有紧固件不得有松动，电器接插件应接触良好。安装时应看图一。 5.2.2 各活动调节部分应灵活、手感良好，不应有卡死和急跳现象。 5.2.3 切断水源或降低水压小于5*10^4 Pa 时，机内报警。

5.2.4 打开预抽阀V2时，主阀V1应不打开（机械互锁装置）。

5.2.5 打开预抽阀V2或主阀V1中的任何一只，按下进气开关时，应不起作用（起到保

护作用）

5.2.6 冷却水进水压力不低于5*10^4Pa，可调节进水压力器内的调节螺钉（以不报警

为准）。

5.2.7 冷却水流量不低于21/min

5.2.8 镀膜台的操作旋钮、开关的动作，应按工作顺序操作（后附操作说明） 5.2.9 操作中突然停电后，在恢复供电时各用电器件不能自行接通。 6、检测维修

6.1 真空检测维修

6.1.1 当仪器开机后，初真空度上不去时（达不到6.7Pa）可仔细检查可有密封部位是否松动和密封圈损坏（如旋转手柄、蝶阀轴封，电极棒下端，电磁阀等），也可对机械泵单独测量（可取下机内较短的一根橡皮管，插入机械泵抽口，另一端插入ZJ-51型热偶真空规，并用SG-3型复合真空计来检验机械泵的真空度，一般应在5Pa左右，如低于5Pa时，应对机械泵清洗或修理。

6.1.2 如仪器初真空达5.33Pa以上，属正常，但高真空度上不去时，可先检查扩散泵底部的电热丝是否断，如高真空度再上不去，方可考虑对扩散泵进行清洗，换油（275 硅油50毫升）

DM220高真空镀膜台操作步骤说明：

该仪器属半自动控制的操作，它的原理是通过机械()轮的位置，控制微动开关，起到在同一时间内，预抽阀V2和电磁截止阀V3相互交替工作，即预抽阀V2打开，截止阀V3关闭。当（）轮位置变化时，电磁截止阀V3开启（抽扩散泵）；预抽阀V2就出在关闭状态，来保证仪器的真空系统正常工作。

开机过程

当仪器需工作时，首先接通电源（AC220V、50HZ），并按插头上标注的L、N极性位置，然后把真空测量仪的电源线插入机箱外后底部的插座内

调换蒸镀样品过程

当要取出真空室内的样品时，只需关闭主阀Vt和预抽阀V2旋钮，在控制器上按下“进气”开关，对真空室充气，约一分半钟后，可把钟罩向上提（可先在水平方向推移一下），

°

提高到最高位置，（不能再提）向左旋转120轻轻放下。钟罩搁起，方可更换样品，再把钟

罩恢复原状态：关闭进气开关，打开预抽阀V2一分钟左右关上，如继续工作再打开主阀Vp。

停机过程

当仪器不在工作时，只需关闭“扩散泵”开关，把主阀V1和预抽阀V2转到“关”位置（向右旋紧），过35分钟后把预抽阀V2向左旋到V2指示灯亮即可，再关“真空泵”开关，然后再把预抽阀转到“关”位置，按下“总电源”开关，再去切断水源和输入电源。

注意事项：

1． 如半小时后，高真空达不到，应检查扩散泵电炉丝是否断。 2． 蒸碳时，如电流上不去，应查二碳棒之间应有一定的压力。

3． 蒸碳时，调节电流旋钮应慢慢旋转，这样可防因电流突然大而蒸镀颗粒过大。 4． 当仪器长期不用时，应每周抽一次初真空，使真空系统保持真空。

1. 2. 3. 4. 5. 6.

DM220型高真空镀膜台装箱清单 名称 DM20型高真空镀膜台 2XZ-4型旋片式真空泵 产品合格证 产品使用说明书 DM220型高真空镀膜台电原理图 DM220型高真空镀膜台真空示意图 备件清单

DM220型真空镀膜台备件清单 名称 扩散泵油 材料规格 275硅油 单位 ml 数量 150 备注 用塑料装好 数量 1 1 1 1 1 1 1 单位 台 台 张 本 份 份 份 备注 附电线1根水管2根 附电源线1根 DM220DL DM220ZK DM220高真空镀膜台的验收指标

真空镀测试：达到2.7*10^3Pa的真空度约需35分钟。

蒸发电流测试:当真空室内的两对电极（蒸发碳或烧光栏）只要处在工作位置时，旋转电流旋钮均能达到50A（电流）、误差10%。

恢复真空度时间：当真空室内更换样品时，需对真空室进气，待真空室为大气时，方能更换好样品，恢复高真空度时，应在10分钟左右不超过15分钟。 断水报警：当切断水源或水压低于5*10^4Pa时应自动报警。（讯响器发出响声）。 误操作进气考核：当打开主阀V1或预抽阀V2中任何一只阀按下“进气”开关时，应不起作用。 阀门保险（真空）：当预抽阀V2打开后，主阀V1打不开，当主阀V1打开时，预抽阀V2打不开。（互锁保险）

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