采用微环谐振腔滤波器的波长锁定器及窄线宽激光器[发明专利]

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专利名称：采用微环谐振腔滤波器的波长锁定器及窄线宽激光

器

专利类型：发明专利发明人：黄莹,储涛

申请号：CN201910339275.0申请日：20190425公开号：CN1101658A公开日：20190823

摘要：本发明公开了一种采用微环谐振腔滤波器的波长锁定器及窄线宽激光器，波长锁定器，包括：SOI芯片；设置在所述SOI芯片上并将输入光波分成两束光线的分束器；接收所述分束器分出的第一束光线的第一光电二极管，所述第一光电二极管输出参考光信号；对所述分束器分出的第二束光线进行滤波的微环谐振腔滤波器；接收所述微环谐振腔滤波器输出的光信号的第二光电二极管，经所述第二光电二极管输出滤波信号。微环谐振腔滤波器的信道间隔(FSR)设计为25GHz，故特适用于窄线宽激光器。本发明集成度很高、工艺复杂度和成本较低，能够提高激光器的波长稳定性。

申请人：浙江大学

地址：310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号

国籍：CN

代理机构：杭州求是专利事务所有限公司

代理人：陈升华

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