专利名称：一种探针台专利类型：实用新型专利发明人：陈超
申请号：CN201920882035.0申请日：20190612公开号：CN210376580U公开日：20200421
摘要：本实用新型属于晶圆检测的技术领域，涉及一种探针台，其包括探针台本体、开设于探针台本体上的放卡槽，所述探针台本体上开设有滑槽，所述滑槽沿竖直方向设置，所述滑槽沿垂直于地面方向设置，所述滑槽与放卡槽贯通连接，所述滑槽中滑动连接有滑块，所述探针台本体上开设有用于移动滑块的驱动装置，所述滑块的侧壁上开设有容纳槽，所述容纳槽与放卡槽贯通连接，所述容纳槽的侧壁上固定连接有用于支撑探针卡的承接板；本实用新型具有能够对不同长度的探针卡进行放置，有利于晶圆的正常检测的效果。
申请人：无锡新微阳科技有限公司
地址：214000 江苏省无锡市新吴区珠江路49-1号
国籍：CN
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