专利名称：带监控蚀刻剂成份的高精度传感器的自动蚀刻剂再
生系统
专利类型：发明专利
发明人：菲利普·卡尔波维奇,戴维·弗莱恩申请号：CN00813243.7申请日：20000727公开号：CN1376262A公开日：20021023
摘要：本发明公开了一种在蚀刻剂再生系统中用来监测各种蚀刻剂颜色浓度的高精度传感器。该传感器包括一个由派热克斯玻璃(Pyrex)或类似材料制成的管状感应室(1)和一个围绕该感应室(1)的一部分的光电管壳体。感应室(1)包括一个延伸进感应室(1)内部的杆状延伸体。光电管壳体提供光源(5),最好是发光二极管(LED)或激光,和一个光电探测器(7),两者通过光电管壳体内的孔光耦合。在附属于蚀刻机器的再生设备中使用两个这样的传感器,以便蚀刻铜、铁、不锈钢或其它材料。在另一实施例中,利用多个传感器来探测蚀刻剂的多个成份,这些成份依赖于所蚀刻的材料和所用蚀刻剂。利用两套传感器的系统特别适用于这样的蚀刻剂:当充分再生时它能很好地透射通过一种颜色的光;而当完全失效时,它能很好地透射通过另一种颜色的光。
申请人：牛津V.U.E.公司
地址：美国加利福尼亚
国籍：US
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：付建军
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