专利名称：图像传感器的制造方法专利类型：发明专利发明人：赵立新,霍介光申请号：CN201110382619.X申请日：20111125公开号：CN102437169A公开日：20120502
摘要：本发明涉及一种图像传感器的制作方法，包括：提供芯片衬底，芯片衬底的第一面包括至少一个具有多个感光单元的感光单元阵列，并且第一面上形成有介质层；部分刻蚀介质层，以形成位于感光单元阵列的多个感光单元的至少部分边界上的多个第一沟槽；采用第一热塑材料将芯片衬底的第一面粘合在支持衬底上；对芯片衬底的第二面进行背面磨削以将芯片衬底减薄至中间厚度；对支持衬底加热至第一预定温度以软化第一热塑材料，并将芯片衬底减薄至预定厚度；对支持衬底加热至第二预定温度以软化第一热塑材料，并从芯片衬底的第二面部分刻蚀芯片衬底以形成多个与第一沟槽连通的第二沟槽，从而使得感光单元阵列中的至少部分感光单元相互分离。
申请人：格科微电子(上海)有限公司
地址：201203 上海市浦东新区张东路1388号20幢
国籍：CN
代理机构：北京市金杜律师事务所
代理人：郑立柱
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