专利名称：化学机械抛光用浆料专利类型：发明专利
发明人：崔银美,申东穆,曹升范申请号：CN201080017681.2申请日：20100422公开号：CN102414293A公开日：20120411
摘要：本发明涉及一种用于化学机械抛光的浆料，该浆料包括一种研磨剂；一种氧化剂；一种有机酸；以及一种包含聚烯烃-聚环氧烷共聚物的聚合物添加剂，其中所述聚烯烃-聚环氧烷共聚物包括一个聚烯烃重复单元和两个或更多个聚环氧烷重复单元，并且至少一个聚环氧烷重复单元是枝化的。
申请人：株式会社LG化学
地址：韩国首尔
国籍：KR
代理机构：北京北翔知识产权代理有限公司
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