专利名称：用于压力感测器的自我测试结构及其方法专利类型：发明专利发明人：郑惟仁
申请号：CN201210381310.3申请日：20121009公开号：CN103712737A公开日：20140409
摘要：本发明是有关于一种用于压力感测器的自我测试结构及其方法。自我测试结构包含基板、多个薄膜层、固定部、电热单元及感测电路单元。薄膜层堆叠形成于基板上。固定部设于薄膜层上方，其中固定部包含凹槽，与薄膜层之间形成腔体。电热单元形成于其中之一的薄膜层中，感测电路单元形成于其中另一个薄膜层中，其中电热单元根据输入电压予以加热提高腔体压力，使薄膜层产生微变形，而感测电路单元则根据微变形输出测试信号。
申请人：京元电子股份有限公司
地址：中国台湾新竹市公道五路二段81号
国籍：CN
代理机构：北京中原华和知识产权代理有限责任公司
代理人：寿宁
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