专利名称：一种金属纳米粒子增强多孔ZnO光催化降解薄膜及
其制备方法
专利类型：发明专利
发明人：杨为家,何鑫,杨成燕,吴健豪,刘铭全,沈耿哲,蓝秋明,
刘俊杰,段峰,刘均炎
申请号：CN201711066450.0申请日：20171102公开号：CN108014784A公开日：20180511
摘要：本发明提供一种金属纳米粒子增强多孔ZnO光催化降解薄膜及其制备方法，包括衬底层、多孔ZnO薄膜层、金属纳米粒子，利用ZnO在衬底层上真空热蒸镀一层ZnO薄膜，然后在箱式电阻炉中加热退火，并在得到结晶态的ZnO薄膜上旋涂光刻胶，曝光显影，获得需要刻蚀的孔洞的图案，然后醋酸溶液腐蚀结晶态的ZnO薄膜，得到多孔ZnO薄膜层，并在其上溅射一层金属薄膜，从而得到金属纳米粒子；本发明适用范围广、制备工艺简单、制备成本低，通过在ZnO薄膜的表面和孔洞溅射金属纳米粒子，有利于提高ZnO薄膜的光催化降解效率；另外通过孔洞增加了催化的面积，并且空洞形状可控性强，进一步提高了ZnO薄膜的催化效率。
申请人：五邑大学
地址：529000 广东省江门市蓬江区东成村22号
国籍：CN
代理机构：广州市红荔专利代理有限公司
代理人：吴伟文
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