专利名称：一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备及方法专利类型：发明专利
发明人：王宜豹,柴旭,盖志刚,姜辛,陈志刚,郭风祥,张妹,王韶
琰,孙小玲,胡鼎,刘寿生
申请号：CN202010655206.3申请日：20200709公开号：CN111705304A公开日：20200925
摘要：本发明属于化学气相沉积技术领域，涉及一种热丝化学气相沉积设备及方法。一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备，包括：镀膜腔室、送样保温腔室、送样装置，所述镀膜腔室与送样保温腔室之间通过插板阀连接，所述镀膜腔室中设有热丝加热系统；所述热丝加热系统的下方设有水冷系统；所述送样保温腔室设置在所述镀膜腔室的两侧；所述的送样装置通过送样保温腔室向镀膜腔室送入样品，两侧交替进行，连续镀膜。本发明的设备和方法，能够精确控制热丝加热单元和水冷单元，实现温场均匀，从而实现制备薄膜的均匀性，优化电流和水流量，节约能源；能够实现镀膜后样品自动保温和温和均匀降温，降低薄膜应力，提高产品质量和使用寿命。
申请人：山东省科学院海洋仪器仪表研究所
地址：266200 山东省青岛市鳌山卫街道青岛蓝色硅谷核心区蓝色硅谷创业中心一期2号楼
国籍：CN
代理机构：青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙)
代理人：马千会
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