专利名称：一种吸盘及其吸附方法专利类型：发明专利发明人：郑清泉,方洁,夏海申请号：CN201510731089.3申请日：20151030公开号：CN106653671A公开日：20170510
摘要：本发明公开了一种吸盘及其吸附方法，包括吸盘主体，所述吸盘主体的中心设有用于基底交接的通孔，所述吸盘主体上设有至少一个凸出吸盘主体且与所述通孔同心分布的密封环，所述密封环上开设有环形凹槽，所述环形凹槽内设有若干与外部真空源连通的真空孔，吸附所述基底时，从所述真空孔通入真空，位于所述密封环与所述基底之间的环形凹槽形成为真空腔。本发明采用环形真空腔的结构，能够逐步改善基底与环形真空腔之间的间隙，内圈的环形真空腔吸附后会减小相邻外圈环形真空腔与基底之间的间隙，最终实现对翘曲基底的有效吸附。
申请人：上海微电子装备有限公司,上海微高精密机械工程有限公司
地址：201203 上海市浦东新区张东路1525号
国籍：CN
代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
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