专利名称：液位控制系统及方法专利类型：发明专利
发明人：黄荣龙,黄进昌,陈滢如申请号：CN201610886966.9申请日：20161011公开号：CN107919299A公开日：20180417
摘要：本发明涉及一种液位控制系统及方法。本发明通过利用一液体移除装置将一液体从一水槽逐渐移除，以达到基板在固定时间内均匀分段浸泡程序，进而避免现有技术中因机械移动基板方式，容易会有微振动而造成液面扰动进而造成基板因处理不均匀而报废的问题。
申请人：盟立自动化股份有限公司
地址：中国新竹市科学工业园区研发二路3号
国籍：TW
代理机构：上海翼胜专利商标事务所(普通合伙)
代理人：翟羽
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