专利名称：钛酸锶单晶表面金属化的制备方法专利类型：发明专利
发明人：金克新,张兆亭,闫虹,王民,王拴虎申请号：CN201810647409.0申请日：20180622公开号：CN108774749A公开日：20181109
摘要：本发明公开了一种钛酸锶单晶表面金属化的制备方法，用于解决现有方法实现表面金属导电容易导致SrTiO单晶表面污染的技术问题。技术方案是通过激光与物质的强相互作用导致在钛酸锶表面产生氧空位，通过调节氧压和激光能量密度，控制钛酸锶单晶表面的金属性。本发明通过改变氧压和准分子激光能量密度控制钛酸锶的金属性，不需要外延薄膜沉积就可使钛酸锶晶体呈现金属态，与背景技术氩离子轰击表面相比，该方法操作简便，无污染，能够多方位的控制钛酸锶表面的金属性，在未来电子器件领域有潜在的应用前景。
申请人：西北工业大学
地址：710072 陕西省西安市友谊西路127号
国籍：CN
代理机构：西北工业大学专利中心
代理人：王鲜凯
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