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一种氮化铝陶瓷覆铜板及其制备方法

来源：尚车旅游网

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利说明书

（21）申请号 CN2016101383.7 （22）申请日 2016.03.10 （71）申请人浙江大学

地址 310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号

（10）申请公布号 CN105777210B

（43）申请公布日 2018.07.17

（72）发明人陈波;王德苗;金浩

（74）专利代理机构杭州求是专利事务所有限公司

代理人韩介梅

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

一种氮化铝陶瓷覆铜板及其制备方法

（57）摘要

本发明公开了一种氮化铝陶瓷覆铜

板，该覆铜板依次由氮化铝陶瓷基底、激光活化层、高能溅射铜层、低能铜层四层结构组成。本发明还公开了该种氮化铝陶瓷覆铜板的制备方法，步骤如下：A、对氮化铝陶瓷基底进行清洗；B、使用激光束扫射氮化铝陶瓷基底表面，制备激光活化层；C、在上述激光活化层上利用磁控溅射在低气压高电压条件下沉积高能溅射铜层；D、在高能溅射铜层上采用溅射镀铜法、化学镀铜法或蒸发镀铜法制备低能铜膜，得到氮化铝陶瓷覆铜板。

本发明相比一般氮化铝陶瓷金属化的结构，具有制备过程无污染，膜层质量高，结合强度大，结构简单稳定，工艺兼容性强等优点。法律状态

法律状态公告日

2016-07-20 2016-07-20 2016-08-17 2016-08-17 2018-07-17

法律状态信息

公开公开

实质审查的生效实质审查的生效授权

法律状态

公开公开

实质审查的生效实质审查的生效授权

权利要求说明书

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说明书

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