专利名称：半导体生产系统的程序处理方法专利类型：发明专利发明人：曾繁中,钱洪涛申请号：CN200710039198.4申请日：20070406公开号：CN101281393A公开日：20081008
摘要：本发明公开了一种半导体生产系统的程序处理方法，其涉及半导体制造领域。该程序处理方法包括：提供程序管理装置，其具有程序控制模块；提供与程序管理装置相接通的数个工作设备，所述数个工作设备具有执行相同工艺步骤的程序；在程序控制模块修改程序；程序控制模块将修改后的程序同时向数个工作设备传输，更新工作设备内的程序。与现有技术相比，本发明揭示的程序处理方法不仅节省了修改数个工作设备程序的时间，而且避免了修改过程中的误操作，提高了工作效率。
申请人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
地址：201203 上海市张江路18号
国籍：CN
代理机构：上海智信专利代理有限公司
代理人：王洁
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