拉曼光谱测试系统

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201710530056.1 （22）申请日 2017.06.30

（71）申请人 中国科学院半导体研究所

地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号

（10）申请公布号 CN107290056A

（43）申请公布日 2017.10.24

（72）发明人 谭平恒;刘雪璐

（74）专利代理机构 中科专利商标代理有限责任公司

代理人 任岩

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

拉曼光谱测试系统

（57）摘要

一种可调谐拉曼光谱测试系统，包括广谱

单色化模块、光路耦合与输出模块及信号检测模块，其中：广谱单色化模块，包括：超连续白光源，用于输出广谱激发光；单色化单元，用于将广谱激发光过滤为单色光；光路耦合与输出模块，用于使单色光照射至样品表面，激发得到拉曼信号光；信号检测模块，用于接收拉曼信号光进行检测，得到样品的拉曼光谱。单色化单元包括光栅及第一反射镜，调节光栅及第一反射镜相

对于超连续白光源的偏转角度，可改变不同波长的单色光反射至光阑的位置。采用超连续白光源提供广谱激发光，可测量激发光波长宽达400～2400nm的可调谐拉曼光谱，因此无需使用价格昂贵且操作不便的波长可调谐激光器，即可方便地实现宽范围的共振拉曼光谱测量。

法律状态

法律状态公告日2017-10-24 2017-10-24 2017-10-24 2017-11-24 2017-11-24 2019-08-16

法律状态信息

公开 公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

法律状态

公开 公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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说明书

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