控制设备、光刻装置和物品的制造方法[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：控制设备、光刻装置和物品的制造方法专利类型：发明专利

发明人：吉田宏二,本岛顺一,西村光英,大豆生田吉广申请号：CN201910349381.7申请日：20190428公开号：CN110426919A公开日：20191108

摘要：本发明提供控制设备、光刻装置和物品的制造方法。该控制设备通过向控制对象提供前馈操纵值来进行控制对象的位置控制，其中，所述设备针对控制对象将被布置的多个位置中的各位置，获得当向控制对象提供第一操纵值时获得的控制对象的第一输出响应的测量结果，基于在所述多个位置处分别获得的测量结果确定第一输出响应的基准值，通过基于第一操纵值与基准值之间的关系按时间序列排列多个第一操纵值来确定第二操纵值，并基于第二操纵值设置前馈操纵值。

申请人：佳能株式会社

地址：日本东京都大田区下丸子3-30-2

国籍：JP

代理机构：北京怡丰知识产权代理有限公司

代理人：迟军

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