专利名称：通过变压吸附纯化三氟化氮专利类型：发明专利
发明人：P·B·亨德森,R·P·安德伍德申请号：CN201510524052.3申请日：20150824公开号：CN105384153A公开日：20160309
摘要：本发明公开了使用以相对于四氟化碳(CF)表现出对NF的选择性的吸附剂装填的柱从CF污染的进料气体产生纯化的三氟化氮(NF)产物气体的变压吸附方法。该方法在基本上回收所有NF的同时，在不使用惰性载气的情况下将进料气体分离成具有比进料气体更高浓度的CF的第一产物气体和具有比进料气体更低浓度的CF的第二产物气体。该方法包括用进料气体填充柱直到柱达到第一压力，移除第一产物气体，和然后移除第二产物气体，其中在移除第二产物气体后，柱处于第二压力下。NF和CF的清洗气体可以用于移除第一产物气体或第二产物气体。
申请人：气体产品与化学公司
地址：美国宾夕法尼亚州
国籍：US
代理机构：北京市金杜律师事务所
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