专利名称:阴极体磁场旋转机构专利类型:实用新型专利发明人:白春阳,任睦琳,李宏艳申请号:CN201620383886.7申请日:20160503公开号:CN206359606U公开日:20170728
摘要:本实用新型属于一种阴极体上使用的永久磁铁旋旋机构,包括电机6,电机支架7,小齿轮8,大齿轮2,磁铁背铁3,压帽5,滑套10,水管4,在水管4上用滑套10把大齿轮8支撑起来,再用压帽5把滑套10固定,大齿轮8横向有0.3mm移动间隙,小齿轮2固定在电机6轴上,电机6固定电机支架7上,电机支架7固定在阴极体座9,电机6通电,大齿轮8旋转,大齿轮8带动磁铁旋转。该发明结构简单,提高靶材的利用率,节约环境资源。
申请人:大连金泰表面工程科技有限公司
地址:116600 辽宁省大连市保税区华铁工业园IC-45号
国籍:CN
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