专利名称：选择性钝化和选择性沉积专利类型：发明专利
发明人：J·W·梅斯,M·吉文斯,S·豪卡,V·帕鲁丘里,I·拉伊梅克
斯,S·邓,A·伊利贝里,E·托伊斯,D·朗格里
申请号：CN201910938338.4申请日：20190930公开号：CN110993482A公开日：20200410
摘要：本发明的发明名称为选择性钝化和选择性沉积。提供了用于选择性沉积的方法。材料相对于不同材料组成的第二表面被选择性沉积在衬底的第一表面上。将抑制剂(如聚酰亚胺层)相对于第二表面由气相反应物选择性地形成在第一表面上。将目标层相对于第一表面由气相反应物选择性地沉积在第二表面上。第一表面可以是金属的，而第二表面是介电的。因此，可利用本文所述技术将材料(如介电过渡金属氧化物和氮化物)相对于电介质表面选择性地沉积在金属表面上。
申请人：ASM IP控股有限公司
地址：荷兰,阿尔梅勒
国籍：NL
代理机构：北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人：姚远
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