专利名称：用于无电沉积的电镀液的应用设备专利类型：发明专利
发明人：耶兹迪·多尔迪,威廉·蒂,约翰·M·博伊德,弗里茨·C·雷
德克,亚历山大·奥夫恰茨
申请号：CN200780024354.8申请日：20070627公开号：CN101479406A公开日：20090708
摘要：本发明提供了一种无电电镀室。该无电电镀室包括一个夹头及一个碗状容器，该夹头用于支撑基底，而该碗状容器用于包围该夹头的一基座和一侧壁。该基座具有沿着该基座的内径界定的环状通道。该室包括连接至该环状通道的排液管。该排液管能够移除从该夹头收集的流体。该室中包含了能够清洁及基本干燥该基底的近接头。本发明还提供了一种无电电镀操作的实施方法。
申请人：朗姆研究公司
地址：美国加利福尼亚州
国籍：US
代理机构：北京康信知识产权代理有限责任公司
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