(12)发明专利申请
(21)申请号 CN200610074156.X (22)申请日 2006.03.27
(71)申请人 松下电器产业株式会社
地址 日本大阪府
(10)申请公布号 CN1870291A (43)申请公布日 2006.11.29
(72)发明人 村山启一
(74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公司
代理人 沈昭坤
(51)Int.CI
H01L29/737; H01L21/331;
权利要求说明书 说明书 幅图
()发明名称
异质结双极晶体管及其制造方法
(57)摘要
本发明揭示一种异质结双极晶体管及其制
造方法,对外部基极区下的集电极区进行离子注入,并且在其上部的外部基极区上设置电容膜(110)。
法律状态
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
法律状态公告日
2006-11-29 2008-06-11 2010-08-25
公开
法律状态信息
公开
实质审查的生效
发明专利申请公布后的视为撤回
法律状态
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发明专利申请公布后的视为撤回
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