有机薄膜晶体管、其制造方法、和包括其的平板显示器[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：有机薄膜晶体管、其制造方法、和包括其的平板显

示器

专利类型：发明专利

发明人：徐旼彻,朴容佑,牟然坤申请号：CN2006100815.7申请日：20060524公开号：CN1870316A公开日：20061129

摘要：本发明公开了一种有机薄膜晶体管(OTFT)、一种制造这样的OTFT的方法、和包括这样的OTFT的有机电致发光(EL)显示器。所述OTFT具有由于使用氟基气体表面处理对应于沟道区的基底的部分以稳定沟道区而改善了的特性。所述方法包括：处理基底表面的预定部分；在未被表面处理的基底的部分上形成源电极和漏电极；形成半导体层以接触所述基底的表面处理过的部分；在所述基底上形成栅绝缘层；并且在所述栅绝缘层上形成栅极。所述基底使用例如CF或CF的氟基气体进行等离子体表面处理。

申请人：三星SDI株式会社

地址：韩国京畿道

国籍：KR

代理机构：北京市柳沈律师事务所

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