一种可见光响应型氧化锌半导体光电材料的制备方法

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（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN2016101569.1 （22）申请日 2016.03.18 （71）申请人吴迪

地址 213155 江苏省常州市天宁区浦前镇149号

（10）申请公布号 CN105810559A

（43）申请公布日 2016.07.27

（72）发明人吴迪;林大伟（74）专利代理机构

代理人

（51）Int.CI

H01L21/02;

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

一种可见光响应型氧化锌半导体光电材料的制备方法

（57）摘要

本发明涉及一种可见光响应型氧化锌半导

体光电材料的制备方法，属于光电材料技术领域。该方法通过直流反应磁控溅射法制得氧化锌薄膜，以窄带隙铁基三元氧化物作敏化剂，与氧化锌薄膜热沉积敏化复配后制得可见光响应型氧化锌半导体光电材料。本发明制得光电材料经窄带隙敏化剂敏化后，既保留了氧化锌半导体优异的传输性和光电特性等优点，又通过敏化途径使

制得材料的光电响应范围扩展至可见光区，进而达到在可见光下具有较好光电催化活性的目标，拓宽了氧化锌半导体材料的应用领域。

法律状态

法律状态公告日

2016-07-27 2016-07-27 2016-08-24 2016-08-24 2019-12-13

法律状态信息

公开公开

实质审查的生效实质审查的生效

发明专利申请公布后的撤回法律状态

公开公开

实质审查的生效实质审查的生效

发明专利申请公布后的撤回

权利要求说明书

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说明书

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