质量流控制流量检定和校准的方法[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：质量流控制流量检定和校准的方法专利类型：发明专利

发明人：威廉·丹尼尔·贝弗斯,约瑟夫·威廉·巴克夫勒,詹姆斯

·L·弗莱克,罗伯特·弗兰西斯·琼斯,贝内特·J·罗斯

申请号：CN200410043147.5申请日：20040512公开号：CN1574200A公开日：20050202

摘要：一种用于在半导造工艺中监视或校准通过质量流控制器的气体流率的方法和装置。参考质量流控制器设置在用于从与同样多个供给气体有关的多个质量流控制器的一个接收气体流量的旁路环路中。选择一个气体供给质量流控制器并将其控制为具有特定的气体流率。通过选定的质量流控制器的气体流量，当气体流向排气管时还通过参考质量流控制器。将气体供给质量控制器所要求的流率与由参考质量流控制器确定的实际流率相比，从而监视和校准气体供给质量流控制器。

申请人：艾格瑞系统有限公司

地址：美国新泽西州

国籍：US

代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：付建军

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