专利名称:大角度麦克尔逊式剪切散斑干涉仪专利类型:发明专利
发明人:陆鹏,张熹,吴君毅,艾钢,曾宪友,郑长江申请号:CN200810041657.7申请日:20080814公开号:CN101339002A公开日:20090107
摘要:本发明涉及一种大角度麦克尔逊式剪切散斑干涉仪,用以进行现场测量,该干涉仪包括仪器本体和至少一光源。仪器本体包括分光棱镜、按照光路布置的物镜、场镜和第一中继镜、具有相移机构的第一、第二全反射镜、第二中继镜以及成像部件。分光棱镜具有一入射面、一出射面、一第一透射面及一第二透射面,出射面与入射面相邻。物镜面对被测物,被测物经物镜成像后在场镜会聚,再经过第一中继镜成平行光入射至分光棱镜的入射面。第一全反射镜相对分光棱镜的第一透射面设置,第二全反射镜相对分光棱镜的第二透射面设置,第二中继镜,会聚由分光棱镜的出射面射出的光,在成像部件的靶面上成像。上述干涉仪中至少有一光源用以提供被测物的照明。
申请人:中国船舶重工集团公司第七一一研究所
地址:201108 上海市闵行区华宁路3111号
国籍:CN
代理机构:上海专利商标事务所有限公司
代理人:陈亮
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