柔性储能薄膜及其制备方法、薄膜电容器[发明专利]

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专利名称：柔性储能薄膜及其制备方法、薄膜电容器专利类型：发明专利发明人：冯雪,王志建

申请号：CN201810829730.0申请日：20180725公开号：CN110767472A公开日：20200207

摘要：本发明涉及一种柔性储能薄膜及其制备方法、薄膜电容器。所述制备方法包括：提供一柔性金属衬底；以金属单质作为靶材，采用磁过滤多弧离子镀方法在柔性金属衬底上沉积形成金属薄膜；以钛酸锶作为靶材，采用磁控溅射方法在金属薄膜上沉积形成钛酸锶预制层；对沉积有金属薄膜和钛酸锶预制层的柔性金属衬底进行热处理，使金属薄膜中的金属原子向钛酸锶预制层扩散，得到陶瓷薄膜，陶瓷薄膜包括依次贴合于金属薄膜的金属原子掺杂钛酸锶的扩散固溶层和钛酸锶层。通过该制备方法实现了储能薄膜柔性化，同时还使储能薄膜具有高可靠性和高储能密度，可以用作薄膜电容器的电介质材料。

申请人：浙江清华柔性电子技术研究院,清华大学

地址：314006 浙江省嘉兴市南湖区浙江清华长三角研究院B座15层

国籍：CN

代理机构：杭州华进联浙知识产权代理有限公司

代理人：李丽华

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