法律分析：设立外商投资企业的程序如下：
1、咨询后领取并填写《名称变更预先核准申请书》，同时准备相关材料；
2、提交《名称变更预先核准申请书》及相关材料，等待名称核准结果；
3、领取《企业名称预先核准通知书》、《外商投资企业设立登记申请书》等相关表格；
4、提交申请材料，材料齐全，符合法定形式的，等待领取《批准设立登记通知书》；
5、领取《批准设立登记通知书》后，按照《批准设立登记通知书》确定的日期向工商局缴费，领取营业执照。
根据《中华人民共和国公司法》规定，设立公司，应当依法向公司登记机关申请设立登记。符合设立条件的，由公司登记机关分别登记为有限责任公司或者股份有限公司；不符合本法规定的设立条件的，不得登记为有限责任公司或者股份有限公司。
法律依据：《中华人民共和国公司法》
第六条 设立公司，应当依法向公司登记机关申请设立登记。符合本法规定的设立条件的，由公司登记机关分别登记为有限责任公司或者股份有限公司；不符合本法规定的设立条件的，不得登记为有限责任公司或者股份有限公司。
法律、行政法规规定设立公司必须报经批准的，应当在公司登记前依法办理批准手续。
公众可以向公司登记机关申请查询公司登记事项，公司登记机关应当提供查询服务。
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