一种扫描式无掩膜光刻机的数据处理方法[发明专利]

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专利名称：一种扫描式无掩膜光刻机的数据处理方法专利类型：发明专利发明人：张爱明

申请号：CN201110143145.3申请日：20110531公开号：CN1023327A公开日：20120215

摘要：本发明公开了一种扫描式无掩膜光刻机的数据处理方法，包括使用数据处理客户端和服务器端进行共同处理、缓存中间数据以适应数据处理速度和平台运动速度差异、在数据处理中设置存储区池和处理流水线进行版图数据处理几步。本发明提高了扫描式无掩膜光刻机的数据处理效率，解决了由于CPU和内存处于满负荷运行仍然反应迟钝而导致数据处理实时性无法满足扫描式光刻设备要求的问题，提高了图像数据处理的准确度。

申请人：合肥芯硕半导体有限公司

地址：230601 安徽省合肥市经济技术开发区锦绣大道68号

国籍：CN

代理机构：安徽合肥华信知识产权代理有限公司

代理人：方琦

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