一种靶材加工装置和加工方法[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种靶材加工装置和加工方法专利类型：发明专利

发明人：王传军,闻明,谭志龙,沈月,许彦亭,刘牛,管伟明申请号：CN201910923533.X申请日：20190927公开号：CN1105920A公开日：20191220

摘要：本发明公开了一种靶材的加工装置和加工方法。靶材的加工装置包括夹具、内固定件和外固定件。内固定件包括底板和内定位销，外固定件包括压板和外定位销。靶材加工方法包括：提供夹具，将靶材装夹于夹具上，加工靶材的溅射面；将靶材翻面，在靶材的装配面开设内固定孔；提供底板，在底板上开设内定位孔；采用固定件将靶材固定在底板上；将底板装夹于夹具上，加工靶材的装配面的外曲面；提供压板，在压板上加工配合曲面；在底板开设外固定孔，在压板开设第三固定孔；将靶材固定于底板和压板之间；加工靶材的内曲面和定位槽。本发明的优点是定位精度高，能保证靶材加工的尺寸和精度，同时效率高，成本低。

申请人：贵研铂业股份有限公司

地址：650000 云南省昆明市五华区高新技术开发区科技路988号(昆明贵金属研究所)

国籍：CN

代理机构：昆明今威专利商标代理有限公司

代理人：赛晓刚

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