专利名称:一种PECVD镀膜系统专利类型:实用新型专利
发明人:何祝兵,苏奇聪,王春柱,刘传生申请号:CN201320237404.3申请日:20130506公开号:CN2032844U公开日:20131113
摘要:本实用新型公开了一种PECVD镀膜系统,包括工艺系统、装卸系统及阀门机构;工艺系统包括工艺腔体及工艺反应室;工艺反应室设置在工艺腔体内;装卸系统包括装卸腔体及传输机械手;传输机械手滑动设置在装卸腔体与工艺腔体之间;阀门机构设置在工艺腔体与装卸腔体之间,用于工艺腔体与装卸腔体之间的连通或隔离,通过阀门机构使得传输机械手可以在腔体之间往复运动,同时保证了腔体之间的互相连通以及真空环境的相互;装卸腔体同时具备装载腔和中转传输腔的功能,能满足基片上下料以及在腔体之间相互传输的功能;由于只有两个腔体,结构更为简单,使得设备成本低,安装维护简单方便,传输结构简单便易,对机械精度要求低。
申请人:南方科技大学
地址:518000 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
国籍:CN
代理机构:广州三环专利代理有限公司
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