专利名称：微机械系统和用于制造微机械系统的方法专利类型：发明专利
发明人：T·考茨施,H·弗雷利施,M·福格特,M·施特格曼,B·宾德申请号：CN201510359084.2申请日：20150625公开号：CN105217560A公开日：20160106
摘要：本公开的实施例涉及一种微机械系统和用于制造微机械系统的方法，该方法包括：在前道制程(FEOL)工艺中在晶体管区域中形成晶体管；在FEOL工艺之后，形成牺牲层；对牺牲层进行结构化以形成经结构化的牺牲层；形成至少部分地覆盖经结构化的牺牲层的功能层；以及去除牺牲层以创建空腔。
申请人：英飞凌技术德累斯顿有限责任公司
地址：德国德累斯顿
国籍：DE
代理机构：北京市金杜律师事务所
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