专利名称：多晶硅生产过程中含氯硅烷废气的简易检测装置及
其检测方法
专利类型：发明专利
发明人：张雷鹏,涂夏明,唐明元,王绍祖,屈杰,蒋晓龙,苟文娜,
郭张利
申请号：CN201510094528.4申请日：20150303公开号：CN104990995A公开日：20151021
摘要：本发明公开了多晶硅生产过程中含氯硅烷废气的简易检测方法，包括以下步骤：步骤一、打开流量控制阀，将冷凝管内的空气完全排空；步骤二、将冷凝管插入液氮罐中，且将三角漏斗放入已知氢氧化钠摩尔浓度C和体积V的液封罐中；步骤三、在冷凝管内持续通入废气，当冷凝液中的冷凝液达到所需量V时，关闭流量控制阀，停止计时，记录下冷凝时间t；步骤四、拆除冷凝管，送至检测室用色谱检测液态氯硅烷的摩尔组成和平均密度ρ；步骤五、用已知摩尔浓度C1的盐酸滴定液封罐中剩余的氢氧化钠，消耗的盐酸体积为V。本方法设备简单，操作方便，经济实用。
申请人：陕西天宏硅材料有限责任公司
地址：712038 陕西省咸阳市渭城区正阳镇河堤路东段
国籍：CN
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